Nanotechnologie
Der 3D-Druck geht auf die atomare Ebene

© Atlant 3D Nanosystems

Unter Federführung der Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg (FAU) will ein europäisches Konsortium aus Wissenschaft und Industrie einen 3D-Drucker für die Mikro- und Nanotechnologie bauen.

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Komplexe mehrstufige Vorgänge, die kostspielig, weil langsam, material- und energieintensiv sind – auf solchen Verfahren beruht die Materialstrukturierung in der Mikroelektronik. Das will ein europäisches Konsortium unter Federführung der Universität Erlangen-Nürnberg ändern. Das Team will die additive Fertigung auf die Mikro- und Nanotechnologie anwenden, weil sie schnellere und flexiblere Prozesse bietet und weniger Rohmaterialien und Energie als bisherige Verfahren verbraucht.

Um einen „Atomlagen-3D-Drucker“ herzustellen, der beliebige Formen mit einer senkrechten Auflösung in der Größenordnung von nur einem Atom erzeugen kann, wird die Expertise der verschiedenen Projektpartner zusammengeführt: von der chemischen Steuerung ultradünner Schichten über die Gasabgabe und mikroelektronische Geräte bis hin zu Mikroverarbeitung und Automatisierung. Ziel ist, einen Drucker für die Mikroelektronik zu entwickeln, der gewerblich vertrieben werden kann.

Neben der FAU sind an dem Konsortium die Unternehmen Atlant 3D Nanosystems, Femtika und Sempa Systems sowie das Institut für Elektrotechnik der Slowakischen Akademie der Wissenschaften beteiligt. Das Projekt wird von der EU im Rahmen des Programms Fast Track to Innovation mit 3 Millionen Euro über zwei Jahre gefördert.