Prozessintegration
Neues Faser­justage­system ver­einfacht PIC-Pro­duk­tion und -Prüfungen

© Physik Instrumente (PI) GmbH & Co. KG

In der Optoelektronikfertigung geht es mitunter nanometergenau. Diese Prozesse im Grenzbereich von Photonik und Halbleitertechnologie zu automatisieren, ist eine anspruchsvolle Aufgabe. Andererseits ist gerade auf diesem Gebiet eine Automatisierung „dringend erforderlich“, wie Physik Instrumente (PI) in Karlsruhe betont.

Die Gründe dafür liegen zum einen in der geforderten Präzision – die Kopplungen der Siliziumphotonik wollen z.T. bis im Nanometerbereich geprüft werden –, zum anderen im rapide wachsenden Bedarf nach immer höheren Übertragungsgeschwindigkeiten in der Mikroelektronik. Dem lässt sich letztlich nur durch standardisierbare hochpräzise Herstell- und Prüfprozesse begegnen. Unabdingbar sind dabei ebenso genaue Justagemechanismen für die Ausrichtung optischer Komponenten und die Qualifizierung von optischen Bauteilen in der Siliziumphotonik.

Eine neues, modulares Faserpositioniersystem für Photonikkomponenten hat PI soeben selbst vorgestellt: Das F-131 ist ein Paket aus drei M-111-Lineartischen mit DC-Motor (jeweils 15 mm Stellweg), einem geregelten NanoCube-P-611-XYZ-Piezosystem, das hohe Geschwindigkeit bei 2 nm Auflösung bietet, den nötigen Controllern (C-884.4DC und E-727.AS) sowie dem passenden Softwarepaket (PIMikroMove, Programmierschnittstellen für NI LabVIEW, MATLAB, Python etc. zur Einbindung in Anwenderprogramme). Da alle Antriebe Positionssensoren haben, sind Kollisionen praktisch ausgeschlossen. Mit dabei sind außerdem ein integrierter Datenrekorder und neben den Ethernet- und USB-Schnittstellen ein hochauflösender Analogeingang für optische Messtechnik. An wahlweisen Extras empfiehlt PI die Software C-990.FA1 (zur vollautomatischen Ausrichtung lichtleitender Komponenten) und den Leistungsmesser F-712.PM1.

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